モジュラー型オプティカル・ペン　シリーズ仕様表

製品名		オプティカル・ペン													オプティカル・ペン「DUO」
測定レンズ（型番）		CL1		CL2			CL3		CL4		CL5		CL6		OPILB-RP
測定範囲		110 µm		300 µm			1.1mm		2.5mm		10mm		20mm		135 µm
ワークディスタンス	[mm]	3.3		11			12.7		16.4		29		19.6		5.3
分解能		0.005 µm		0.012 µm			0.025 µm		0.075 µm		0.280 µm		0.600 µm		1 nm
測定精度		0.02 µm		0.06 µm			0.2 µm		0.4 µm		0.9 µm		3 µm		0.5 nm
最大傾斜角	[deg]	+/- 43		+/- 28			+/- 27		+/- 22		+/- 14		+/- 8.6		+/- 7
リファレンスプレート対応		-		○			○		○		○		-		○
90°折り曲げ（オプション）対応		○		○			○		○		○		○		-
倍率レンズ（型番）		MG 210	MG 140	MG 210	MG 140	MG 70	MG 140	MG 70	MG 35	MG 20	MG 35	MG 20	MG 35	MG 20	MG 210	MG 140
測定スポット径	[ µm ]	2	3.1	2.6	3.1	5.2	4	8	8	13.2	16	22	16	25.6	3.8	5.6
横分解能	[ µm ]	1.1	1.55	1.3	1.55	2.6	2	4	4	6.6	8	11	8	12.8	1.9	2.8
最小測定厚	[ µm ]	7	8.5	15	15	25	25	40	60	95	200	380	590	620	-	-
全長（ケーブル含まず）	[ mm ]	253.1	217.1	243.3	208.9	176.1	205.9	176.1	145.5	131.7	16	167.6	16	151.8	200	164
重量（ケーブル含まず）	[ g ]	268	195	248	190	189	215	214	155	140	175	160	195	180	200	127

コントローラ	CCSコントローラ	オプティカル・ペン「DUO」コントローラ
測定周波数	100～2,000 points/sec.	～2,000 points/sec.
測定周波数の選択	○	○
光源	白色LED	ハロゲン
光源強度	プログラマブル	プログラマブル
自動照度調節機能	○	-
遠隔操作	-	-
寸法	168×138×120 mm	376×363×114 mm
重量	1.4 kg	6 kg