MRF®による高精度光学加工
MRF®とは？
MRF®=「磁気粘弾性流体研磨（MagnetoRheological Finishing）」。米国QED Technologies社が開発した高精度研磨技術です。研磨剤を含んだ磁性流体を回転ホイールに流し、磁場・粘度などの物理特性を高度に制御しながら研磨を行う方法で、精度の要求される光学部品の仕上げ研磨、修正研磨に適しています（面精度λ/10～λ/20。平面・球面に対応）。当社ではこのMRF®と独自の加工プログラムで、高精度な光学部品加工に対応いたします。
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| MRFマシン本体(Q22-Y) | ホイール部分（φ7mmレンズを加工中） |
応用例
・光学研磨面の修正研磨
・与えられた面形状から所望の形状を創生
・組みレンズの収差補正
・市販レンズの性能改善
・変更研磨（設計の変更にともなう修正） など
組みレンズ収差補正の例
これまで難しかった、組みレンズの残存収差（球面収差、非点収差など）による像面湾曲、アス等の補正が可能です。
| 加工事例 ① 組みレンズから像面湾曲量を測定 ② ①の結果を元に、φ１００、厚み1mmの合成石英平板にMRF®で凹R600の修正研磨を施した 補正板を作成 ③ 組みレンズに②を挿入し、像面湾曲を補正 |
市販レンズ性能改善の例
市販のレンズも＋MRF®研磨で、オーダーメイド品と同等性能のレンズに。しかも、オーダーメイド品に比べリーズナブルに製作できます。下記の例は市販の大口径球面レンズを非球面レンズへ創生研磨した例です。
 球面平凸レンズからの加工量 元のレンズφ１００mm、中心厚21.2mm、加工面のＲ77.85mm |
自由曲面創生の例
ラスター加工により、球面、非球面形状だけでなく、トーリック面や自由曲面の創生研磨にも対応致します。下記の例は球面形状をトーリック面形状にMRF加工した例です。
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| トーリック面形状 | 元の球面からの変異量 |