高速、高精度の干渉計システム
PHASICS 「光学波面測定機 SID４」
特長
・PHASICS社独自の２次元グリッドによる改良ハルトマン法を応用した高速、高精度の波面測定機です。
・測定範囲が広いので、非球面やトーリック面などの波面測定が可能です。
・ＵＶからＩＲまで様々な波長範囲に応じた機器を選択できます。
・リレーレンズが不要で、アライメントが簡単です。
 改良ハルトマンマスク |
 |
| 測定原理 |
・この波面測定器を用いて、コンパクトな形状評価システムをご提供いたします。
 |
 非球面を測定した例 （左）波面マップ （右）設計からの差分 |
製品仕様
 |
|||||
| UV HR | Visible | Visible HR | NIR | DWIR | |
| 測定波長 | 190- 400nm |
400- 1100nm |
400- 1100nm |
1.5-1.6μm | 3-5μｍ 8-14μｍ |
| 横分解能 | 32μｍ | 29.6μｍ | 29.6μｍ | 29.6μｍ | 68μｍ |
| サンプリング | 250×250 | 160×120 | 300×400 | 160×120 | 160×120 |
| 測定精度 | 10nm RMS | 10nm RMS | 10nm RMS | 15nm RMS | 75nm RMS |
| 測定分解能 | 0.5nm | 3nm | 2nm | <11nm | 25nm |
| ダイナミック レンジ |
>200μm | >100μm | >500μm | >100μm | |