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高速、高精度の干渉計システム
PHASICS 「光学波面測定機 SID4」

fineoptix 「ワークショップ干渉計」

特長

・PHASICS社独自の2次元グリッドによる改良ハルトマン法を応用した高速、高精度の波面測定機です。
・測定範囲が広いので、非球面やトーリック面などの波面測定が可能です。
・UVからIRまで様々な波長範囲に応じた機器を選択できます。
・リレーレンズが不要で、アライメントが簡単です。

 
改良ハルトマンマスク

測定原理


・この波面測定器を用いて、コンパクトな形状評価システムをご提供いたします。

 
非球面を測定した例
(左)波面マップ (右)設計からの差分

製品仕様

  UV HR  Visible  Visible HR  NIR  DWIR 
測定波長 190-
400nm
400-
1100nm
400-
1100nm
1.5-1.6μm 3-5μm
8-14μm
横分解能  32μm  29.6μm  29.6μm  29.6μm  68μm 
 サンプリング  250×250 160×120  300×400  160×120  160×120 
測定精度 10nm RMS 10nm RMS 10nm RMS 15nm RMS 75nm RMS
測定分解能 0.5nm 3nm 2nm <11nm 25nm
ダイナミック
レンジ
>200μm >100μm >500μm >100μm