非接触３次元形状測定システム
概要
STIＬ社のオプチカルペンを用いた非接触の形状測定機です。オプチカルペンは測定可能最大傾斜角度が大きいので、形状測定中に被測定面に垂直に入射するよう都度オプチカルペンを傾ける必要はないのが特徴です。また、高ストローク、高精度の２軸直動ステージ（Ｘ軸、Ｙ軸）を組み合わせることで、球面、非球面だけでなくトーリック面や自由曲面など任意の形状の高精度測定を可能にしました。
さらにＣ軸、Ｂ軸（オプション）等の回転ステージにより、ボールレンズやプリズムなどの様々な形状の測定物にも対応いたします。
| Ｘ軸 | Ｙ軸 | |
|---|---|---|
| ストローク | 300mm | 200mm |
| 位置再現性 | 150nm | 100nm |
| 最大移動速度 | 5mm/sec | 5mm/sec |