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【新製品】 コンパクトで持ち運び可能な表面形状プロファイラー
4D Technology 「NanoCam Sq」

NanoCam Sq

特長

独自の超高速干渉測定「ダイナミック干渉法」による表面観察システム
4D Technology独自の「ダイナミック干渉法」(特許取得)による100マイクロセカンド標準の超高速干渉測定。振動を避けられない場所でも測定可能。

軽量・コンパクト
本体寸法約24×24×8cm、重量約4.6kgの軽量・コンパクト設計。携帯性が高く、被測定物の傍へ持ち運んで近接測定が可能。

特長

豊富なオプションレンズ
長作動距離干渉計用対物レンズ ×2.5、×5、×10、×20、×50(開発中)

内蔵LED光源(460nm)

充実の解析ソフト「4Sight™」 →詳細


NanoCam Sq 応用例

標準スタンドを使用した測定 ロボットアームによる大型部品の測定(1)
ロボットアームによる大型部品の測定(2) XYステージを用いた高速測定

「ダイナミック干渉法」(特許取得)

従来の位相シフト干渉計はピエゾ素子などを用いて参照面を動かし、干渉縞の画像を取り込 んで位相分布を計算します。一回の測定に少なくとも100ミリセカンド以上の時間を要し、その 間に干渉計・測定試料の間で相対振動・空気の揺らぎなどが起こることで干渉縞が変動して しまい、測定エラーの原因となります。これを防ぐには光学定盤や除振装置・風防等が必要と なるため、そういった対策を取ることのできない測定対象は今まで除外せざるを得ませんでし た。
4D Technologyのダイナミック干渉計は、独自の「ダイナミック干渉法」でそうした問題をクリア した画期的なシステムです。
「ダイナミック干渉法」では、機械的に参照面を移動することなく、一回の画像データ取込で4フ レームの位相シフト干渉像が得られます。一台のカメラ各画素ごとに位相シフトを行うため安 定したデータ収集が可能で、しかも一回の測定時間を30マイクロセカンドにまで短縮できるた め、振動等で干渉像が変動する前に一瞬で測定が完了します。
これにより、振動を避けられない環境での測定や、離れたところにある試料・移動物体の測 定、あるいはチャンバー内で環境試験中の試料の測定などが可能になります。

「4Sight™」データ解析ソフトウェア

先進の干渉計には先進のソフトウェア。4D Technologyの「4Sight™」は、産業界で最先端の干渉計ソフトウェアと評価されています。

4Sight

データ収集
・4Sight™の測定コンソールからリアルタイム画像を見ながらの調整が可能
・シングル、アベレージ、連続、差分、バースト(ムービー)など多彩なデータ収集モード

データ解析
・スロープ、ヒストグラム
・回折解析(PSF、MTF、自己共分散)
・幾何光学解析(点像強度分布、円もしくは正方形の開口内エネルギー分布)
・ゼルニケ解析
・多彩なマスク機能
その他カスタム解析機能の追加も可能です。