多機能・高精度・非接触三次元測定システム
「モジュラー型オプティカル・ペン」
特長
あらゆる面を測定可能。多機能・非接触・高精度形状光学ヘッド
・粗面、鏡面形状非接触測定（金属・ゴム・ガラス・皮革・弾性体・液面など）
・表裏両面からの反射光同時測定による、透明体の非接触厚み測定
・参照面との比較ギャップ測定
・表面粗さ測定
自由度の高いモジュラー型で、用途に合った最適なシステムを構成
2種類の光学モジュール（倍率レンズ、測定レンズ）の組み合わせ方で、測定スポット径・測定レンジ・分解能など、用途に最適な仕様を選んでシステムが作れます。
ステージ以外に物理的な駆動要素がなく、測定データをリアルタイムに出力できる
オプティカル・ペンの構成
測定原理（コンフォーカル・クロマティック方式）
「オプティカル・ペン」は、共焦点結像光学系に色収差をもつ結像レンズを採用しています。 点光源S（白色光源）から出た光は、それぞれの波長に応じて異なった結像点（λI）をS´上に形成します。 その後再び同じ結像系を戻り、S"上のピンホールに最もシャープに再結像した波長成分のみが最大効率で 検出され、それ以外の波長成分の結像はブロックされます。これらの波長は分光器とリニアセンサにより、 測定対象物の深さに対応して検出されます。 周辺光の影響を受けることなく高精度な空間分解能力を発揮できるのが、この光学系の大きなメリットです。
応用例
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| 表面粗さ測定 | インライン検査 品質管理 |
厚み測定 | オートフォーカス 振動測定 |
表面微細形状測定 |
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| 球面・非球面レンズ測定 | 超精密旋盤への搭載例 |