「干渉測定モード」搭載でさらに高精度な測定が可能に！
非接触三次元測定システム「モジュラー型オプティカル・ペン DUO」
特長
より高精度な表面形状測定を実現。幅広くなった測定レンジ
従来モデルで採用している測定方式（「コンフォーカル・クロマティックモード」）に加え、新たに「干渉測定モード」を搭載。より精密な表面形状測定にも対応できるようになりました。必要な測定精度に応じて両モードの使い分けができ、応用の幅が広がります。
2モード対応コントローラ
コントローラはコンフォーカル・クロマティックモード、干渉測定モード共通で使用可能。従来モデル同様、必要な測定精度に応じてペン型モジュールを交換するだけの、使いやすくシンプルなシステム構成です。
測定原理（干渉測定モード）
光源から出た光は、測定対象物・リファレンス・プレート（参照平面）それぞれに反射します。このとき２つの反射光には光路差が生じます。図のようにリファレンス・プレートを測定対象物の前に挿入し、限りなく近づけて光路差が可干渉距離に入ると、２つの反射光の間で干渉が生じます。この干渉の分光スペクトル強度は波長によって変調されていますので、それを軸上色補正されたオプティカル・ペンを通して測定解析することで、より精密な厚み測定が可能になります。